记者7月19日从滨化集团处了解到，通过对工艺、工程、检测、充装四个方面的技术攻关，滨化集团制造的半导体高纯氟化氢产品纯度达到了6N级别（99.9999%），在国内同行业中处于领先地位，在国际上也是一流水平。这一成就意味着，我国在半导体关键材料领域成功打破了国外的长期垄断，填补了国内高纯氟化氢产能的空白。
高纯氟化氢气体在半导体晶圆制造中扮演着精密“刻刀”的角色，是干法蚀刻、腔体清洁等核心电子特气。它的纯度直接关系到晶圆的良率。6N级的高纯氟化氢是适应28纳米及以下先进制程的必需品。在此之前，我国生产的6N级高纯氟化氢一直依赖进口，而国外企业在全球市场上的份额高达80%。
半导体级别的氟化氢纯度要求必须达到99.999%（5N）以上。“从5N到6N，其难度远不止多提纯一次，而是一个全新的纯化体系。”滨化集团特种化学品事业部总经理刘腾说，要实现6N的纯度，关键在于去除氟化氢中痕量的水、二氧化碳、含氧有机物等杂质。企业通过设计多重精馏耦合系统，在改善塔内件和操作条件的同时，在特定压力梯度下，实现了碳氧杂质的深度脱除，从而从源头上控制了这些关键杂质。此外，企业还开发了密闭精准取样系统和灵敏度高得多的分析方案，从而最小化了取样过程中环境本底干扰，确保分析数据能真实反映产品质量，保障了6N指标的稳定可靠。
目前，6N等级高纯氟化氢的市场价格已经超过200万元/吨。滨化集团已经建成了50吨/年的高纯氟化氢钢瓶充装线，并获得了山东省特检院颁发的气瓶充装许可证，目前已经开始向国内外的重要客户推送这一产品。
由中国化工学会举办的“半导体先进制程用超高纯电子级氢氟酸关键技术与应用”项目成果评价会，在滨化集团举行。专家们经过评审，一致认为，该项目的关键技术及产品指标已达到国际先进水平。
超高纯电子级氢氟酸项目是山东省的重点研发计划（重大科技创新工程）项目，由滨化集团和天津大学共同研发。项目团队成功攻克了氢氟酸纯化、高效吸附和清洗充装的难题，实现了连续化、规模化、稳定化的生产。产品指标优于SEMI-G5级，已经顺利地为14纳米先进制程的半导体终端客户使用，其品质和稳定性得到了行业龙头企业的认可。项目首创了电子级氟化氢反应-精馏耦合的提纯新工艺，并开发了新型填料结构和电子化学品包装桶全自动浸没式旋转气泡清洗装置，构建了全流程的质量控制闭环体系，形成了具有自主知识产权的工业化生产工艺。
这次高纯氟化氢气体的成功投产，进一步完善了我国在半导体先进制程关键材料方面的自主供应能力。超高纯电子级氢氟酸通过国际先进水平的评审，为国产化的大规模推广提供了工程化的示范支持，对于保障我国集成电路产业链供应链的安全和稳定，具有长远的战略意义。
